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产品详细型号

    198彩娱乐

     功能

    1、可控制整体装料量,全自动控制拉晶过程。

     结构

    1、机械部分均采用高精度数控加工,焊接工艺符合日本JIS标准;

    2、炉子腔体内外层均采用超低碳不锈钢。双层水冷式结构;

    3、真空旋转轴全部采用稳定的大型磁流体密封;

    4、炉腔法兰为整体锻造件;

    5、配套CCD晶棒直径自动控制系统ADC;

    6、密封圈全部采用高质进口件;

    7、高品质的真空管路系统;

     效率

    1、单晶硅棒高收率和70%以上的整棒生产率;

    2、两次装料198彩娱乐网址保证效率最大化;

    3、采用自行研发设计的特殊热屏装置,大幅提高拉晶速度,较其他 普通198彩娱乐网址可提高30%-50%效率,降低单位耗能成本;

    4、选用超低碳不锈钢材料,先进的探测仪器和检漏仪器等部件,是198彩娱乐网址运行率的保证。

     安全

    1、具有电源安全保护装置,炉体水温报警系统,炉压异常报警系统。

    2、采用自动报警系统和两次泄压装置,启动泄压阀即可,大量泄漏,则炉盖自动弹开泄压,另外,炉底有防漏承接盘(石墨制品),可保证不发生如爆炸等事故。同时,采用UPS应急电源,发生断电、断水时,自动提取已成晶部分,避免产生整炉的报废。

     控制

    1、全面数字化管理,采用中央集中控制系统。减少了人为因素的参与,保证质量稳定性。工艺、品质全部三维检验,从而保证198彩娱乐网址运转率,对控制单晶产品氧碳含量和最后的组件转换效率都至关重要。

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    项目 规格内容
    周围温度 1530摄氏度
    周围湿度 65%(须保证没有结露情况的发生)
    洁净度 一般环境
    真空度 结晶拉制环境:2.7KPa20Torr
    到达真空度 3Pa以下
    漏泄量 45Torr/Hr以下
    拉制晶棒直径 8”
    最大装料量 150kg
    适用热场规格 24”
    适用石英坩埚规格 24”
    最大长晶长度 2400mm以下
    籽晶轴行程 4500mm
    籽晶提升速度(低) 09.89mm/min
    籽晶提升速度(高) 500mm/min
    籽晶旋转速度 220rpm
    坩埚升降速度(低) 0.032.5mm/min
    坩埚升降速度(高) 250mm/min
    坩埚轴最大承重 350kg
    坩埚转速 220rpm
    坩埚升降轴行程 700mm
    重量 炉主体 7500kg
    操作箱 80kg
    电气控制箱 500kg
    加热器电源箱 1800kg
    电源 交流输入 三相380V 50/60Hz
    输入容量 320KVA
    198彩娱乐网址最大高度 <8700mm

    单晶炉

    在惰性气体环境中,用石墨加热器将保存在石英坩埚内的多晶硅等多晶材料高温熔化,再将籽晶放入变成液体的硅溶液里按自动程序用直拉法生长无错位单晶的198彩娱乐网址。

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