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产品详细型号

     

    HXH系列特点

    高产能:融合当代各种新技术,装料量大,大幅提升产能;

    安全性:采用独特的陶瓷纤维+石墨硬毡双重安全防护设计并有自动漏硅感应系统,可及时启动漏硅

            应急措施。其卓越的安全性能,能大大降低事故隐患。

    高品质:独特的性能加热系统与保温措施,能保证结晶过程中硅材料电阻率的均匀性和一致性,并有

            效降低耗能,减少企业成本。

    自动化:中央集成系统具有高速微处理器的检测与处理原件,动态检测,高速响应,实现全过程自动

            控制和数据交换,具有安全高效、稳定可靠、抗干扰性高等优势。其控制系统还具备了单相

            UPS装置,可有效减少瞬时断电带来的损失。

     

      主要构件

     

     

     

     

     

     

     

     

    项目 规格内容
    产品规格 投料量 800kg装料
    晶锭尺寸 1000mm×1000mm×350mm
    198彩娱乐网址真空度 结晶的环境 55-60kPa(工艺要求)
    空的冷炉极限真空度 3Pa以下
    允许漏泄量 5Pa/Hr以下
    重量 主炉体约 约5000kg
    机架 约1600kg
    操作台 约1000kg
    操作箱 约40kg
    控制箱 约400kg
    电源箱组 约2500kg
    主机外形尺寸   4900mm×4900mm×5800mm
      内径 2104mm
      材质 内:SUS304L 厚度为:14mm
    腔体 内:SUS304L 厚度为:8mm
      高度 上腔体:2000mm
    部件 下腔体:1105mm
      炉盖厚:65mm
    规格 三组电极中心距 900mm
      观察窗 测温及观察:一处
      冷却水流路分隔 螺旋形构造
      冷却水排水口 炉体各部件最上部
      保温罩 升降驱动方式 自动/手动
    升降机构 升降轴行程 ≥380mm
    部件规格 限位开关 两处(上限、下限)
      下腔体 升降驱动方式 自动/手动
    升降机构 升降行程 1000mm
    部件规格 限位开关 两处(上限、下限)
      主真空管道的接口尺寸 ISO-K100
    真空管路 轴真空管道的接口尺寸 ISO-KF16
    系统部件 控制蝶阀 自动/手动
      规格 炉压控制精度 ±0.10kPa
      接口位置 上炉筒的左侧面(主真空机组)
    Ar气管路 最大流量 100L/min(用MFC控制Ar)
    系统部件  输入压力 0.3MPa以上
      规格  端口位置 炉盖上部
      冷却水源输入输出口 j50mm(Rc2")
    冷却水系统 为螺纹连接,通径尺寸
    部件规格  流量 ≥300 L/min
       水压 0.3 Mpa  以上
       进出水压力差 0.2 Mpa  以上
       进水温度 15~25℃
        输入电压:380V AC三相五线制(50Hz)
    电器 加热器电源
        加热器功率:135kw(AC35V2200A)/165KW(AC35V2700A)
    控制 部件规格 输出控制方式:温度控制/功率控制
        功率控制精度:额定输出±1%以内
    系统  温度测定系统                        ①B型热点偶                                   ②红外测温仪
                                            测定范围:0—1800℃                            重复精度:0.1%(全量程)
      部件规格         重复精度:±0.5℃(或±0.0025%全量程)         测定范围:600­—3000℃
                                                                                 测定波长:0.85—1.1μm
    工艺控制 控制器构成 高性能PLC
      方式  控制方式  
       

    多晶炉

    多晶铸锭炉是生产太阳能光伏发电领域的重要生产198彩娱乐网址。HXH-450/600/800型是通过引进日本技术,针对太阳能电池市场需求而开发的高性能多晶硅铸锭198彩娱乐网址。该198彩娱乐网址将多晶硅碎块料、头尾料、埚底料、各种单晶废片等材料装入炉内化料的石英坩埚内,经融化、重新定向结晶及退火等工艺,铸成生产太阳电池的前道原料——多晶硅锭。